Bỏ qua để đến Nội dung

Khối phổ ion thứ cấp thời gian bay là gì?

12 tháng 6, 2026 bởi
Khối phổ ion thứ cấp thời gian bay là gì?
ADST, Phạm Thị Thu Phương

Khối phổ ion thứ cấp thời gian bay là gì (ToF-SIMS)

Khối phổ ion thứ cấp thời gian bay (ToF-SIMS) là một phương pháp phân tích vô cùng nhạy trên bề mặt sử dụng một chùm ion xung (Cs hoặc microfocused Ga) để loại bỏ các phân tử từ bề mặt ngoài cùng của mẫu. Các hạt được loại bỏ từ các lớp mono nguyên tử trên bề mặt (các ion thứ cấp). Sau đó các hạt này được gia tốc vào trong một ống bay được gọi là "flight tube" đồng thời  khối lượng của chúng được xác định chính xác bằng việc đo lường chính xác khoảng thời gian mà chúng tới đầu dò (i.e. time-of-flight). Ba chế độ hoạt động được ứng dụng trên ToF-SIMS: khối phổ bề mặt, chụp ảnh bề mặt và định dạng độ sâu. Khả năng phân tích của ToF-SIMS bao gồm:

  • Độ phân giải khối lượng 0.00x amu. Các hạt với cùng khối lượng danh nghĩa (Ví dụ Si và C2H4, đều có khối lượng = 28 ) rất dễ dàng để phân biệt với nhau bởi vì Mr. Einstein đang dự đoán có một sự dịch chuyển khối lượng nhỏ khi các nguyên tử chuyển sang trạng thái liên kết.

  • Độ phân giải khối lượng 0-10,000 amu; có thể phát hiện các ions (dương hoặc âm), đồng vị, và các hợp chất phân tử (bao gồm các polyme, các hợp chất hữu cơ, và lên đến cả các ~amino axit).

  • Các giới hạn phát hiện phần tử theo dõi trong phạm vi.

  • Các giới hạn phát hiện phần tử theo dõi trong phạm vi ppm.

  • Khả năng lập hồ sơ độ sâu; phún xạ bề mặt cho phép phân tích địa tầng hóa học trên bề mặt vật liệu (tốc độ phún xạ điển hình là ~100 A/minute).

  • Retrospective analysis. Mỗi pixel của bản đồ ToF-SIMS tượng trưng cho một phổ khối đầy đủ. Điều này cho phép một nhà phân tích tạo ra bản đồ một cách retrospectively produce maps cho bất kỳ khối lượng quan tâm nào, và để các vùng quan tâm (ROI) về thành phần hóa học của chúng thông qua xử lý máy tính sau khi tập dữ liệu đã thu thập được bằng công cụ.

Các nguyên tắc cơ bản của phép đo khối phổ ion thứ cấp thời gian bay

ToF-SIMS sử dụng chùm hạt tập trung, xung (thường là Cs hoặc Ga) để đánh bật các chất hóa học trên bề mặt vật liệu. Các hạt được tạo ra gần vị trí va chạm hơn có xu hướng bị phân ly ra ion (dương hoặc âm). Các hạt thứ cấp được tạo ra xa hơn vị trí va chạm có xu hướng là các hợp chất phân tử, điển hình là các mảnh của các đại phân tử hữu cơ lớn hơn nhiều. Sau đó, các hạt được gia tốc thành một đường bay trên đường đến một máy dò. Vì có thể đo "thời gian bay" của các hạt từ thời điểm va chạm đến khi phát hiện trên quy mô nano giây, nên có thể tạo ra độ phân giải khối lượng nhỏ tới 0,00X đơn vị khối lượng nguyên tử (tức là một phần nghìn khối lượng của một proton). Trong các điều kiện hoạt động điển hình, kết quả phân tích ToF-SIMS bao gồm:

  1. Một khối phổ khảo sát tất cả khổi lượng trong phạm vi từ 0-10,000 amu,

  2. Chùm tia phân tán tạo ra các bản đồ của bất kỳ khối lượng quan tâm nào trên tỷ lệ sub-micron scale

  3. Biên dạng độ sâu được tạo ra bằng cách loại bỏ các lớp bề mặt bằng cách phún xạ dưới chùm tia ion.

ToF-SIMS còn được gọi là SIMS "tĩnh" vì dòng ion sơ cấp thấp được sử dụng để "cù" bề mặt mẫu để giải phóng các ion, phân tử và cụm phân tử để phân tích. Ngược lại, SIMS "động" là phương pháp được lựa chọn để phân tích định lượng vì dòng ion chính cao hơn dẫn đến tốc độ phún xạ nhanh hơn và tạo ra hiệu suất ion cao hơn nhiều. Do đó, SIMS động tạo ra thống kê đếm tốt hơn cho các nguyên tố vi lượng. Các hợp chất hữu cơ bị SIMS "động" phá hủy một cách hiệu quả và không thu được thông tin chẩn đoán nào.

Thiết bị đo phổ khối lượng ion thứ cấp (ToF-SIMS) - Hoạt động như thế nào?

Sơ đồ thiết bị của Charles Evans TRIFT ToF-SIMS instrument. Các thiết bị ToF-SIMS thường bao gồm các thành phần sau:

  • Một hệ thống chân không siêu cao, cần thiết để tăng quãng đường bay tự do trung bình của các ion được giải phóng trên đường bay của các ion

  • Súng bắn hạt, thường sử dụng nguồn Ga hoặc Cs;

  • Đường đi của các ion được thiết kế thao dạng tròn, nới sử dụng máy phân tích tĩnh điện để định hướng chùm hạt (hình bên dưới thể hiện thiết kế của Charles Evans TRIFT), hoặc tuyến tính sử dụng gương phản xạ (xem thêm về thiết kế của "gương phản xạ" của hệ thống Cameca's IonTOF);

  • Hệ thống dò khối lượng.

Sơ đồ của thiết bị CAMECA IonTOF ToF-SIMS. Các thiết bị ToF-SIMS cũng được trang bị một máy tính có phần cứng mạnh và phần mềm để điều khiển và phân tích hệ thống. Một trong những tính năng chính của phần mềm ToF-SIMS khả năng thực hiện phân tích "hồi ký", có nghĩa là, mỗi phân tử từ mẫu được hệ thống phát hiện có thể được máy tính lưu trữ dưới dạng một hàm của khối lượng và điểm gốc của nó. Điều này cho phép người dùng có được bản đồ hóa học hoặc quang phổ của các khu vực cụ thể chưa được xác định trước đó sau khi dữ liệu gốc đã được thu thập.

Các ứng dụng

ToF-SIMS được ứng dụng rộng rãi trong các ngành khoa học vật liệu trong các nghiên cứu về vật liệu như polyme, dược phẩm, bán dẫn. Có ba phương thức thu thập dữ liệu chính bao gồm:

  • Khảo sát nguyên tố / phân tử;

  • Bản đồ nguyên tố / phân tử;

  • Hồ sơ độ sâu.

Về nguyên tắc, ToF-SIMS được ứng dụng cho bất kỳ qua trung gian bề mặt như: xúc tác, hấp thụ, oxy hóa khử và phản ứng hòa tan / kết tủa. Chỉ gần đây ToF-SIMS mới được áp dụng cho các vật liệu địa chất. Một số ví dụ:

  • Phim hữu cơ về ranh giới hạt khoáng

  • Xác định các dấu ấn sinh học hữu cơ trong hồ sơ đá

  • Đặc điểm của các đại phân tử hữu cơ trong mỏ than

  • Phân tích kim loại kết tủa từ chất lỏng magma trong hệ thống thủy nhiệt đáy biển

  • Phân tích các hạt bụi liên hành tinh



Quang khắc chùm tia điện tử (Electron Beam Lithography – EBL): Công nghệ then chốt trong chế tạo nano và vi mạch