Tính năng:
Dòng sản phẩm 8” và 12”
Là hệ thống đầu tiên trên thế giới có khả năng phơi hoàn chỉnh trên wafer 12 inch. Hỗ trợ nhiều kích thước từ mẫu nhỏ (thường dùng trong nghiên cứu & phát triển) đến wafer 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 và 12 inch, cũng như phôi mặt nạ (mask blanks) kích thước 6025 và 9025.
Hệ thống nạp tự động
Tùy theo nhu cầu sử dụng, hệ thống cung cấp:
-
Autoloader đơn, phù hợp cho nghiên cứu và phát triển (R&D)
-
Autoloader đa khay, cho sản xuất quy mô nhỏ đến vừa
-
Robot loader cho các yêu cầu tự động hóa cao hơn
Phần mềm GUI đơn giản, trực quan
Phần mềm mới có tên “elms” được tích hợp tiêu chuẩn với hệ thống quang khắc.
Các chức năng như chuyển đổi file CAD, điều chỉnh chùm tia, phơi, và quan sát SEM được thiết kế tách biệt, giúp chương trình dễ sử dụng và nâng cao hiệu quả quy trình làm việc.
Tính năng quản lý tài khoản cho phép phân quyền truy cập khác nhau tùy theo người dùng.
Thông số kỹ thuật
| Thương hiệu | Elionix |